12月17日,專家組對由有研半導體材料股份有限公司等單位承擔的02重大專項“90nm/300mm硅片產品競爭力提升與產業化”和“200mm硅片產品技術開發與產業化能力提升”進行了中期評估。專家組組長由中科院半導體研究所陳良惠院士擔任,中科院上海技術物理研究所方家熊院士、北京有色金屬研究總院名譽院長屠海令院士、原信息產業部巡視員鄭敏政、清華大學微電子所錢佩信教授、北京大學信息科學技術學院康晉鋒教授、國家自然科學基金委財務局局長鄭仲文等十七名專家和02專項辦的同志一起參加調研,項目合作單位中芯國際集成電路制造(北京)有限公司博士蔣慶紅也受邀參加了此次評估。北京有色金屬研究總院院長張少明,副院長、有研半導體材料股份有限公司董事長周旗鋼,總經理張果虎陪同調研。
專家組按照生產加工流程對12英寸硅片生產線——磨削車間、拋光車間、清洗車間、外延車間、檢測車間進行現場考察,詳細了解了12英寸硅片的生產現狀和生產過程中遇到的問題??疾旖Y束后,專家組聽取公司董事長周旗鋼做的“02重大專項項目中期評估匯報”,詳細的介紹了項目的進展情況。專家組認真聽取了匯報,進行了深入的交流。專家組組長陳良惠院士希望有研硅股要多總結課題實施經驗,在研發實踐中努力協調好促進企業發展與承擔國家戰略任務的關系;錢佩信教授希望公司能夠抓住發展機遇,抓緊時間成長為大型半導體企業,并提醒公司要全方位考慮問題,不能僅僅依靠國外團隊;鄭敏政巡視員指出,公司要注重提升管理水平,提高產品技術含量,利用多種方式融資;屠海令院士指出半導體行業最重要的是“快”,抓住機遇,迎難而上,推進各項工作;蔣慶紅博士表示有研硅股在開發12英寸硅片方面做了大量工作,如能順利通過第三方客戶可靠性驗證,將會成為中芯國際的合作供應商。
張少明院長做重要講話。他說,有研總院用了一年多的時間,專門開展戰略規劃制定和研判工作,理順了全院主要業務領域,明確了需要整合的資源,為今后的快速發展打下了堅實基礎。硅材料是有研總院的核心發展方向,要堅定不移的做下去,做好做優,總院會給予大力的支持。
最后,周旗鋼董事長感謝各位專家能在百忙之中蒞臨公司,悉心指導。他表示將會進一步解放思想,大力推動項目進展,早日實現公司的跨越式發展。